Características del producto eh400 de la fuente de iones Kri Hall en los Estados unidos:

Bo DongKRIFuente de iones HalleH 400Características:

1.Componente de ánodo extraíble- -Fácil mantenimientoV;Durante el mantenimiento,Minimizar el tiempo de inactividadV;ánodo de repuesto plug - and - play

2.Haz ancho y corriente de alta descarga- -Tasa de grabado uniformeV;Alta eficiencia de grabadoV;Recubrimiento asistido por iones altosIADEficiencia

3.Multipropósito- -Aplicable aLoad lock /Sistema de vacío súper alto

4.Conversión de plasma eficiente y control de potencia estable