El sistema pecvd de tres zonas de temperatura Otl - pecvd - 1200 - 1400 - 1200 está compuesto por tres hornos de tubo de vacío de caña deslizante, Cámara de vacío de cuarzo, fuente de alimentación de radiofrecuencia, sistema de suministro de gas gx, sistema de extracción de aire, sistema de medición de vacío y mecanismo de arrastre eléctrico.

Características principales:

1. convertir el gas en la Cámara de vacío de cuarzo en un Estado Ion a través de una fuente de alimentación de radiofrecuencia.

2. el pecvd requiere una temperatura más baja que el CVD ordinario para la deposición química en fase de vapor.

3. el tamaño del estrés de la película depositada se puede controlar a través de la frecuencia de la fuente de alimentación de radiofrecuencia.

4. el pecvd tiene una tasa de depósito químico de vapor más alta, buena uniformidad, alta consistencia y estabilidad que el CVD ordinario.

5. ampliamente utilizado en: crecimiento de varias películas delgadas, como: siox, sinx, sioxny y silicio estereotipado (a - si: h), etc.

Este sistema pecvd de tres zonas de temperatura es un sistema pecvd que puede calentarse y enfriarse rápidamente. está equipado con un par de correderas eléctricas en tres hornos tubulares y puede utilizar un sistema de deslizamiento eléctrico. La velocidad máxima de calentamiento y enfriamiento puede alcanzar los 100 ° C / min. Para lograr el calentamiento más rápido, se puede calentar el horno por adelantado a la temperatura establecida y luego mover el horno al gusto de muestra.Colocar. Para obtener el enfriamiento más rápido, se puede mover el horno al otro extremo después de calentar la muestra. Las tasas de calentamiento y enfriamiento se pueden alcanzar en un ambiente de vacío o gas inerte.10 ° C / s es un sistema pecvd de doble zona de temperatura de bajo costo, calentamiento rápido y enfriamiento.

Este sistema pecvd de tres zonas de temperatura utiliza el cable de Resistencia kanthal sueco y la barra de carbono de silicio como elementos de calefacción, utiliza una estructura de carcasa de doble capa y un instrumento de control de temperatura de programa de 30 secciones, activación de cambio de fase, control de silicio controlable, el horno utiliza materiales de fibra policristalina de alúmina importados de japón, los dos extremos del tubo del horno están sellados con brida de acero inoxidable, y la brida de acero inoxidable está equipada con boquilla de aire, válvulas.Y el manómetro, el vacío al bombear vacío puede alcanzar 10 - 3 pa, dividido en dos áreas de temperatura, las dos áreas de temperatura se pueden controlar de forma independiente, establecer diferentes temperaturas, fácil de usar y operar, el horno tiene las ventajas de un campo de temperatura equilibrado, baja temperatura superficial, velocidad de elevación rápida de la temperatura, ahorro de energía, etc. Es una universidad, Instituto de investigación científica, empresa industrial y minera para hacer quema de atmósfera de alta temperatura. Productos ideales para unir y crecer Grafeno y cultivar diversas películas.

(1) el grosor del extremo caliente de la barra de carbono de silicio D es de 14 mm, el fabricante General adopta 12 mm, el extremo de calentamiento es grueso, no es fácil de doblar, la carga superficial de la barra es baja y la vida útil es larga.

（2) la longitud del extremo frío m es de 210mm, el fabricante General adopta 180mm, y la temperatura del techo largo del extremo frío es baja.

(3) la película amorfas oxidada en la superficie de la barra de carbono de silicio es densa y puede proteger mejor la barra de carbono.

Cuando el circuito está sobrecorriente o con fugas eléctricas, la reunión vacía se desconecta automáticamente.

El horno de tubo de atmósferaSí.Equipado con interfaz de comunicación y software, puede controlar directamente los parámetros del horno a través de la computadora y observar desde la computadora los valores de temperatura PV y SV y el funcionamiento del instrumento en el horno. la computadora dibujará la curva de calentamiento real del horno en tiempo real y puede guardar los datos de temperatura en cada momento, que se pueden llamar en cualquier momento.

(1) horno de curado de fibra policristalina de alúmina de alta calidad y alta pureza formado por filtro de succión al vacío.
(2) tomar forma con tecnología japonesa.
(3) el material del horno tiene una baja capacidad de calor y un bajo coeficiente de conducción térmica, por lo que tiene menos disipación de calor, buen aislamiento térmico y alta reflectividad. El campo de temperatura es equilibrado.
(4) el alambre de alúmina del horno es fino y largo, tiene una alta resistencia a la temperatura y una fuerte capacidad de resistencia al calor, aumento y contracción.
(5) la superficie del horno es Lisa y no es fácil perder polvo.

(todos los electrodomésticos importados certificados por ul)