El nuevo pura Plus está especialmente diseñado para los últimos cambios en la demanda de la industria de obleas para el tamaño y los indicadores de los equipos. Pura plus es un transmisor de cambio de humedad traza en línea, instalado en múltiples rutas en una fábrica de semiconductores hasta el final del suministro de gas de la línea de producción, para monitorear la aplicación de gases inertes ultrapuros. La distribución del sistema de gas en la planta es compleja, involucrando muchas ramas, nodos y puntos de uso. Por lo tanto, después de los puntos de monitoreo de humedad convencionales, la infiltración de humedad se producirá debido a fugas trazas, diseño de sistemas ineficientes, fallas de componentes o errores de proceso, lo que afectará el uso aguas abajo. Por su parte, pura plus, instalada en el sistema de distribución, es capaz de proporcionar indicaciones de respuesta rápidas, con un nivel de humedad de 20 ppb El tiempo de respuesta al cambio de 1 ppb es inferior a 1 minuto. Aspectos destacados Respuesta rápida a los cambios de humedad en el nivel ppb Sensibilidad del nivel ppb de baja humedad ( < 1 ppb) Un nuevo concepto de instalación de medición multipunto Bajos requisitos de mantenimiento Indicación de Estado de tipo semáforo Se pueden establecer puntos de advertencia y alarma Compatibilidad de la red modbus Software multicanal con interfaz de control remoto Detección de tuberías de gas ultrapuro (uhp)
Indicadores técnicos
Velocidad de respuesta Tiempo de respuesta de < 1 minuto 20 ppb cambio de humedad 1 ppb Rango de humedad 1 ppb a 20.000 ppm Rango de presión De 0 a 10 bar Nivel de resistencia a la presión 300 bar Prueba de fuga 0-9 mbar l/s Rango de flujo de trabajo 1 ~ 10 l / min Temperatura de trabajo 5 ~ 40 ° C Temperatura de almacenamiento 30 ~ 70 ° C Fuente de alimentación 20 ~ 28 V de corriente continua Consumo de energía 5 W máximo Nivel de fusibles externos Tipo de fusión rápida de 500 ma Salida de datos Modbus ASCII dos líneas rs485 Salida de advertencia y alarma Ruta 2 Tensión máxima 40 V de corriente continua Corriente máxima 100 mA Material en contacto con gas Material de la carcasa Acero inoxidable Aisi 316l, pulido eléctrico de la superficie interior inferior a 10 ra Estructura del sensor Electrolitos de alúmina, protección dorada superior, capa inferior de aluminio Volumen interno 4,4 cm³ peso 450g Interfaz de ruta de gas VCR de 1/4' m Interfaz eléctrica 9 - interfaz D - m de aguja Compatibilidad electromagnética En50081 - 2 y en50082 - 2