Miembros VIP
Dispositivo de captura de gas de chip de silicio
Dispositivo de captura de gas de chip de silicio
Detalles del producto
Introducción del producto
・ se utiliza para capturar compuestos volátiles (contaminantes orgánicos) en la superficie de obleas de silicio de 8 y 6 pulgadas. (SW-8400)
・ se utiliza para capturar compuestos volátiles (contaminantes orgánicos) en la superficie de obleas de silicio de 12 pulgadas. (SW-12400)
・ la captura de gases volátiles de obleas de silicio de un solo lado es fácil de operar.
・ el horno de calentamiento adopta el método de suspensión invertida para capturar y muestrear solo el gas producido en la parte delantera de la obleas.
・ se utiliza para capturar compuestos volátiles (contaminantes orgánicos) en la superficie de obleas de silicio de 12 pulgadas. (SW-12400)
・ la captura de gases volátiles de obleas de silicio de un solo lado es fácil de operar.
・ el horno de calentamiento adopta el método de suspensión invertida para capturar y muestrear solo el gas producido en la parte delantera de la obleas.
· El horno de calentamiento puede calentarse hasta 500 ° c.
· El sello del horno de calentamiento está sellado con anillo o (material de poliimina) sin fugas.
・ por lo general, se utiliza PAT (acumulación de contenido de 10 ml, relleno de 2,5 G tenax gr) para capturar gas. También se pueden seleccionar los tubos de muestreo de captura correspondientes de otros fabricantes para el muestreo.
· El sello del horno de calentamiento está sellado con anillo o (material de poliimina) sin fugas.
・ por lo general, se utiliza PAT (acumulación de contenido de 10 ml, relleno de 2,5 G tenax gr) para capturar gas. También se pueden seleccionar los tubos de muestreo de captura correspondientes de otros fabricantes para el muestreo.
· equipado con dispositivo de circulación de agua de refrigeración.
· equipado con dispositivos de prevención de sobrecalentamiento, dispositivos de Seguridad de bloqueo, botones de parada de emergencia, sensores de fuga de agua (opcional) y otros dispositivos de prevención de Seguridad.
· equipado con dispositivos de prevención de sobrecalentamiento, dispositivos de Seguridad de bloqueo, botones de parada de emergencia, sensores de fuga de agua (opcional) y otros dispositivos de prevención de Seguridad.
Parámetros técnicos
|
Modo
|
Modo de suspensión invertida
|
|
Tamaño del chip de silicio capturado
|
8 "o 6", 5 "por debajo se necesita agregar el anillo de expansión (tipo 12400, 12")
|
|
Anillo en forma de o
|
El diámetro de la parte de sellado es de 220mm (poliimina)
|
|
Horno de calentamiento de cuarzo
|
Material de Cuarzo Transparente
|
|
Método de calentamiento del horno de calentamiento
|
Techo · método de calentamiento independiente de la placa inferior
|
|
Temperatura de uso del horno de calentamiento
|
Comúnmente utilizado 400 ℃ (hasta 500 ℃)
|
|
Enfriamiento del horno de calentamiento
|
Dispositivo de circulación de agua de refrigeración
|
|
Tubo de aislamiento térmico
|
Tratamiento del recubrimiento inerte en la superficie interior
|
|
Soplar el gas
|
Nitrógeno habitual, con un caudal máximo de uso de 500 ml / min
|
|
Dispositivo antisobrecalentamiento
|
Corriente 15a, corriente de inducción 30ma
|
|
Botón de parada de emergencia
|
Rojo, tipo hongo
|
|
Dispositivos de Seguridad
|
Estructura entrelazada
|
|
Modo de presurización
|
Impulsado por motor
|
|
Tamaño del equipo
|
1140 (w) × 1106 (h) × 750 (d) mm
|
|
Peso
|
280Kg
|
|
Fuente de alimentación
|
Fase única ac200v, 15a · ac100v, 20a
|
|
Anexo estándar:
|
|
|
Pat (tubo de adsorción de primera clase):
|
2 (no coincide con el tubo de captura de otras empresas)
|
|
Estante PAT
|
1 (no coincide con el tubo de captura de otras empresas)
|
|
Adaptadores PAT
|
1 (para uso con otras empresas)
|
|
Anillo en forma de o
|
2
|
|
Dispositivo de circulación de agua de refrigeración
|
1 unidad (con tubería estándar)
|
|
Tubo de aislamiento térmico
|
1 unidad
|
|
Tubo de gas
|
1 juego (1 / 16 "- 1 / 8")
|
|
Cable
|
1 juego
|
|
Herramientas
|
1 juego
|
|
Instrucciones de operación
|
1 Volumen
|
* consulte las especificaciones técnicas del modelo SW - 12400.
Consulta en línea
-
Contactos
-
Empresa
-
Teléfono
-
Correo electrónico
-
Wechat
-
Código de verificación
-
Contenido del mensaje
-